ST.奧地利弗洛里安報道 — EV集團（EVG）是面向MEMS，納米技術和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設備的領 先供應商，今 天宣布已從芬蘭VTT技術研究中心（VTT）收到其EVG®120自動抗蝕劑處理系統的訂單）。作為EVG晶圓鍵合和對準系統的現有客戶，VTT率先訂購了zui新版本的EVG120系統，與上一代平臺相比，該功能得到了增強，以提供更高的可靠性，吞吐量和工藝性能。 。VTT將使用新的EVG120系統來增加容量，以支持涉及新的和不同涂層材料的并行研發項目，并支持MEMS，光電，“超越摩爾”技術領域的新研究應用。

       VTT工藝工程經理Heini Saloniemi表示：“光刻在為數字社會提供動力的設備的生產過程中起著至關重要的作用。“經過對光刻涂層系統的全 面產品評估，VTT在競爭性招標中選擇了EVG120，并將涂層均勻性和涂層厚度的可重復性列為主要評估標準。我們期待收到新的EVG120系統，這將改善我們的光刻工藝能力，使我們能夠探索新的研究途徑。”

       EVG120自動抗蝕劑處理系統可在通用平臺上提供可靠且高質量的涂層和顯影工藝。它的多功能性和靈活性，以及較低的擁有成本，使其成為許多開發項目可以并行運行的研究環境的理想系統，而其高吞吐率使其可用于批量生產。

       更新后的EVG120平臺保留了上一代平臺的所有行業領 先功能，包括：緊湊的設計，占用空間zui小；可定制的模塊配置，用于旋涂和噴涂，顯影，烘烤和冷卻；EVG的CoverSpin?技術可優化奇形和方形基材的涂層均勻性；EVG專有的OmniSpray®技術用于極端地形的保形涂層；和晶圓邊緣處理。

       更新平臺上的新功能包括：

• 分離濕處理模塊，以實現恒定條件的腔室到腔室
• 集成式化學柜，適用于抗蝕劑泵和瓶子（包括對高粘度抗蝕劑的支撐），以改善工藝控 制并縮短分配周期
• 新型機器人處理系統可提供zui高的可靠性和更高的吞吐量
• 可選的濕度和溫度控 制，用于恒定的環境條件

       “作為芬蘭領 先的研究機構，VTT在全球擁有強大的行業合作伙伴全球網絡，可將突破性的研究轉化為可再生能源，醫 療保 健，智能產業和智能城市以及其他領域的新產品和服務。努力不懈地支持我們的主要客戶，例如VTT，” EV集團產品管理總監Thomas Wagenleitner說道。“作為這項工作的一部分，我們利用了20多年的抗蝕劑處理經驗，以不斷改進我們的行業基準EVG120平臺。這使我們能夠以更低的擁有成本為客戶提供更高水平的涂層性能。對于像VTT這樣的尖 端技術的生產工廠和研究實驗室而言，這都是至關重要的。”

關于芬蘭VTT技術研究中心

       芬蘭VTT技術研究中心有限公司是歐洲領 先的研究和技術組 織之一。VTT在芬蘭具有國 家授權。我們使用我們的研究和知識為我們的國內外客戶和合作伙伴提供專 家服務。我們為私人和公共部門提供服務。我們擁有75年的豐富經驗，可通過頂 級研究和基于科學的成果來支持客戶的成長。我們開發新的智能技術，有利可圖的解決方案和創新服務。我們與客戶合作，為企業生產技術，并為社會造福成功和幸福。有關芬蘭VTT技術研究中心的更多信息，請訪問http://www.vttresearch.com/。

       VTT Memsfab Ltd是VTT的子公司，提供中小型晶圓加工服務。我們專注于MEMS，光子組件和其他微/納米電子設備。
       我們的制造通常基于與芬蘭VTT技術研究中心共同開發的成熟技術平臺。我們的服務使您可以在同一晶圓廠中快 速設計和制造新組件，從而消 除了昂貴且風 險高的技術轉讓項目。有關VTT Memsfab的更多信息，請訪問https://www.vttmemsfab.fi/。

關于EV集團（EVG）

       EV Group（EVG）是制造半導體，微機電系統（MEMS），化合物半導體，功率器件和納米技術器件的設備和工藝解決方案的領 先供應商。主要產品包括晶圓鍵合，薄晶圓處理，光刻/納米壓印光刻（NIL）和計量設備，以及光刻膠涂布機，清潔劑和檢查系統。EV Group成立于1980年，為全球范圍內的精致的全球客戶和合作伙伴提供服務并提供支持。