華南地區(qū)某杰出高校與國內(nèi)某杰出平板電視廠商合作成立的OLED項目產(chǎn)業(yè)基地，向岱美采購的EVG6200NT光刻機于今年八月份正式裝機驗收完成，這是繼EVG在華東地區(qū)遍地開花后，在華南市場再下一城，這也是EVG在國內(nèi)安裝的首臺NT系列光刻機，標志著EVG正式邁出了其向華南市場進軍最堅實的一步。

        EVG公司是半導體、微電子機械系統(tǒng)以及納米技術(shù)領(lǐng)域應用的領(lǐng)先者。其產(chǎn)品的銷售業(yè)績一直居于業(yè)內(nèi)的榜首。它的主要產(chǎn)品包括芯片鍵合、納米壓印、平版印刷、測量儀器、雙面光刻、涂膠、清洗、以及檢查系統(tǒng)。他們提供的Aligner設備全球優(yōu)越，除標準的雙面對準光刻，它也可以用作鍵合前的最先預對準。EVG的光刻設備因其良好的穩(wěn)定性和極高的對位精度，可用于各種要求嚴格的場合，有手動、半自動及全自動型號可選，可廣泛應用于半導體、MEMS及先進封裝生產(chǎn)及研發(fā)。

         NT系列光刻機作為EVG公司的下一代主力產(chǎn)品，其增強化的設計主要體現(xiàn)在花崗巖底座的主動防震隔離、用于頂部顯微鏡Y軸定位的線性馬達和軟件的現(xiàn)場對位確認上，這都非常有效地提高了操作的簡便性以及設備本身的對位精度。