岱美拿到采購Filmetrics薄膜厚度測量儀F50-UVX的訂單。客戶是一家大型中美合資企業,是集科研開發、生產制造、經營銷售為一體的專業SOI晶圓生產企業。擁有先進高新技術,主要致力于生產制造太陽能芯片、半導體SOI晶圓產品、外延片材料等產品。訂單已于2010年7月完成。
美國Filmetrics公司生產的F50-UVX自動測量產品是基于F20薄膜厚度測量儀系列的升級版,具有多點測試、自動檢測、檢測速度快、測量精準等優點,該款設備波長范圍為200-1700nm,可檢測膜層厚度范圍在3nm-250um之間,*大可自動測量12寸硅片,可根據實際應用選取掃描點數進行全圖掃描,具有2點/秒的快速測量速度。