發布時間:2020-05-21
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岱美中國拿到Filmetrics膜厚測量儀F50-UV的訂單。該客戶為國內研究鐵電薄膜領域的頂尖院校,主要研究BaTiO3,BNT,BLT等材料的特性及生長工藝。F50-UV主要用于研究鐵電薄膜生長工藝,控制5" 硅片上BNT生長均勻性,以及研究一些太陽能領域使用的導電薄膜,如AZO等。
F50系列自動膜厚測量系統是基于F20薄膜厚度測量儀系列的升級版,具有多點測試、自動檢測、檢測速度快、測量精準等優點,該款設備波長范圍為200-1100nm,可檢測膜層厚度范圍在1nm-40um之間,*大可自動測量12寸硅片,可根據實際應用選取掃描點數進行全圖掃描,具有2點/秒的快速測量速度。
(該系統以于2011年10月交付,安裝和和驗收)