發(fā)布時(shí)間:2020-05-26
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F50系列自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)是基于F20薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列的升級(jí)版,具有多點(diǎn)測(cè)試、自動(dòng)檢測(cè)、檢測(cè)速度快、測(cè)量精準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn),該款設(shè)備波長(zhǎng)范圍為200-1100nm,可檢測(cè)膜層厚度范圍在1nm-40um之間,*大可自動(dòng)測(cè)量12寸硅片,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選取掃描點(diǎn)數(shù)進(jìn)行全圖掃描,具有2點(diǎn)/秒的快速測(cè)量速度。
(該系統(tǒng)以于2011年10月交付,安裝和和驗(yàn)收)
F50系列膜厚儀