岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F50膜厚儀的訂單(2011.7.8)。該客戶是是由日本磁性流體技術株式會社投資于上海寶山城市工業園區的全資公司。公司創立于1995年5月,現投資總額175.8億日元,注冊資本76.8億日元。主要產品包括8英寸(含8英寸)以下各種規格的太陽能級單、多晶硅錠和單、多晶硅片, 4”-6”MOS、微波電路、存儲器電路及大功率器件使用的外延襯底重摻的半導體研磨片和拋光片,半導體熱電材料,覆銅陶瓷基板,精密零部件洗凈再生和電鍍服務。產品涉及電子、半導體、太陽能發電等產業領域。儀器主要用于測量半導體各種硅片的厚度。
F50膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1050nm的可見光干涉測量,能夠測量20nm-100um范圍的膜層厚度,精度高達0.1nm,可智能化設定坐標,掃描所測樣品的表面厚度分布。
(系統已于2011年12月交付,安裝)
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