岱美中國再次拿到采購Filmetrics薄膜厚度動態監測儀2臺F30膜厚儀的訂單

發布時間：2020-06-04

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岱美中國再次拿到采購Filmetrics薄膜厚度動態監測儀2臺F30膜厚儀的訂單。該單位為中科院下屬一科研院所，是集半導體物理、材料、器件及其應用研究于一體的半導體科學技術的綜合性研究所。其中有兩個國家級研究中心，三個國家重點實驗室，一個中國科學院院級研發中心和一個院級重點實驗室。該客戶以自主知識產權的磚利和專有技術投資，融合社會資本建立了10余家高技術企業，并實施科研成果轉化為現實生產力，已初步形成產業化、商品化規模。該客戶是國內頭個研發成功MOCVD的研究院所。

Filmetrics膜厚測量儀：
美國Filmetrics公司生產的F30薄膜厚度動態監測儀膜厚儀主要應用于動態檢測，可針對樣品的沉積速率、n、k值等實時監測，測量精度可以達到1%，動態可以監測100nm以上厚度膜層，客戶可根據自身需要選擇F30系列不同型號產品。其中F30波段范圍為380-1050nm,F30-NIR波段范圍為950-1700nm,F30-EXR波段范圍為380-1700nm.

客戶方使用膜厚儀F30主要應用于MOCVD上針對藍寶石基底樣品進行膜層厚度動態監測。