岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F30的訂單。該客戶是由中國科學院半導體所、廣東省工業技術研究院、廣東省廣晟資產經營有限公司等公司組建而成。公司注冊資本為1.3億元人 民幣。該公司以中科院半導體研究所為技術依托,聚集國內外上等人才團隊,專注于半導體照明核 心裝備—-金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)的研發與制造,力爭成為國際上等的MOCVD裝備制造企業。
F30在線膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1050nm的可見光干涉測量,主要應用于測量半透明或輕度吸光膜層的沉積速率、厚度、光學常數和厚度均勻性等,膜厚測量范圍:15nm-100um,準確度為1%,可實時監控膜層沉積的情況,是一款性價比很高的膜厚測量設備。(該設備已于2013年8月份交付客戶使用)
F30設備照片:
加載中