你真的了解多波段橢偏儀嗎？它的光譜范圍是多少？

發布時間：2023-01-03

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近年來，隨著儀器行業的不斷發展，多波段橢偏儀在市場上得到了快速地發展。由于其突出的表現，受到了廣大用戶的青睞。目前本產品可以廣泛地應用于半導體、通訊、數據存儲、光學鍍膜等領域中，下面我們就來具體的了解一下這款儀器！

它的光譜范圍：

蕞初，多波段橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數獨立的波長，較典型的是采用激光或對電弧等強光譜光進行濾光產生的單色光源。大多數的橢偏儀在很寬的波長范圍內以多波段工作。它和單波段的橢偏儀相比，多波段橢偏儀可以提升多層探測能力，可以測試物質對不同波長光波的折射率等。

多波段橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的多波段橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。

它的應用領域：

目前，多波段橢偏儀可應用于半導體、微電子、MEMS、通訊、數據存儲、光學鍍膜、平板顯示器、科學研究、物理、化學、生物、醫藥…等眾多領域中；同時，本儀器還可以檢測介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質和石墨烯等眾多材料。