光學輪廓儀與同類產品相比具有哪些優勢？

發布時間：2023-01-04

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光學輪廓儀是一款便捷的、精確的、實用的非接觸三維形貌測量系統。它建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）)等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

目前，光學輪廓儀具有許多和大型機臺一樣的優點，包括：測量設置簡單易學，高速數據采集能力，強大的數據分析能力以及0.1納米量級的測試重復精度。可選配自動樣品臺使儀器實現程序化。

光學輪廓儀的量測性能與其它同類產品相當，但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發展提供了基礎。系統包含了完整版的Vision分析軟件，該軟件是行業內功能較全的分析軟件，可實現二維和三維的數據分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具，包括自動測序功能、數據記錄和實時反饋及統計控制過程的合格/不合格標準。用戶采用可選的軟件包還可以定制專門的數據分析用戶界面。

產品優勢有以下7點：

1、Nikon干涉物鏡；

2、TMC光學隔振臺；

3、PI納米移動平臺及控制系統；

4、NI信號控制板和Labview64 控制軟件；

5、美國硅谷研發的合心技術和系統軟件；

6、關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌；

7、測量準確度重復性達到先進水平（中國計量科學研究院證書）。