優勢：

1、微光斑功能： 標準配置微光斑光斑尺寸80x120微米。特殊光學設計與研磨級高精度Z軸搭配可自動移除透明襯底背面反射.對焦過程中可自動判定膜層的對焦位置，并通過光學狹縫克服透明襯底背后反射

2、采用訊號自動對焦，量測訊號與對焦訊號為同一訊號有效避免量測的位置誤差。

3、檢偏器自動追蹤：大幅提升橢偏儀量測精度,特別有利于極薄膜層的材料分析以及ψ與Δ之精度

4、電動自動可調變衰減片：可自動或手動調整不同樣品訊號飽和程度(100%~0.1%)，并可分段設置UV訊號與可見光訊號強度以便獲取比較好量測訊號

5、軟件自動分析擬合：提供膜厚折射率預分析功能，未知材料的數據庫比對能力,軟件自動分析簡化操作,克服橢偏儀一向由專業人士操作帶來的量測困難。

6、遠程遙控：突破橢偏儀需到場服務與培訓之限制,大幅提升售后服務之效率

7、高質量DUV光譜儀：光譜范圍220nm-1100nm,（可選配至1700nm)分辨率<1nm 自帶半導體制冷,高動態比，訊噪比盡可能的減小噪聲影響

8、自動生成2D或3D Mapping 圖譜并自動數據分析，光譜自動保存，數據可匯總及上傳

9、以recipe設置測試時間大幅縮短至1-3秒，提高測試效率。

10、設計上采用抗紫外鈍化光纖雙光纖結構，先進的斷開功能,大幅提升光譜穩定性和長期使用的可靠性。

11、高穩定性標準片 膜厚重復性精度<0.5A,折射率重復精度<0.0005

12、膜厚測試范圍1nm-20微米 可針對透明或不透明襯底測試

13、無償建模

規格：

光學原理：

光波從接觸到光學組件表面，到離開光學組件表面的短暫時間里，其偏極狀態（polarization state)一定會改變。橢圓偏光儀，既是一種用來量測光波穿透光學組件，或從光學組件表面反射前后偏極狀態改變情形的儀器。由于此種偏極狀態的改變是光波與光學組件材料產生交互作用的結果，因此可由偏極狀態的改變情形，反推得到光學組件表面的物理特性。這里所謂的光學組件表面有可能是光學組件的表面，也有可能是單層膜或多層膜的堆棧，也可能是光學組件表面的污染層。
光藉由非零度入射角至樣品表面而反射, 因為樣品的厚度及對光的反應（吸收或透明…）而產生極化狀態的改變（產生相位及振幅的改變），此量測方式我們稱為橢圓儀量測。量測時對于每個波長,我們得到兩個獨力的參數Ψ and △