1. 產品簡介

       PhaseCam 6110高分辨率類型激光干涉儀是PhaseCam6000系列激光干涉儀的另一種型號，有助于提高大孔徑光學元件表面測量的分辨率，適用于數字處理和高分辨率系統調整。

       PhaseCam 6110干涉儀采用分離光源和干涉儀的設計，主體尺寸小。它還配備了特殊的調節架，易于安裝和定位，并且便于進行五維調節，是測量焦距準直儀，低溫光學真空實驗等的理想儀器。
       PhaseCam 6110略大于PhaseCam 6010，并且具有更好的可維護性。
2. 基本屬性
系統描述：對振動不敏感的Tiemann Green型動態相移激光干涉儀
采集方式：瞬時相移型帶相位相關檢測器
核芯技術：相移干擾技術（PSI）
光源：穩定頻率HeNe@632.8nm；可選波長1550nm
相干長度：> 100m
光束直徑：7mm
極化：圓極化
相機像素：2000×2000像素，12位
尺寸：測量頭：<38.9 x 15.7 x 9.1厘米

          激光：48.3 x 20.3 x 11.9厘米

3. 系統性能
采集速率：> 10幀/秒（實時顯示）
                 > 15幀/秒（后處理）
zui小曝光時間：35微秒
樣品反射率：1-100％（無衰減）
RMS重復性：<0.001wave *
RMS精度：<0.002wave **
* 10個數據的RMS值的1σ方差用作結果；每個數據是16次測試的平均值
**使用10個數據，每個數據是16次測試的平均值；這10個數據的平均值用作參考值；每個數據與參考值之間的差用于計算RMS平均值作為結果
4. 配置選項
擴束鏡：Φ50mm，Φ100mm，Φ300mm

球面擴束鏡：F / 1至F / 32；可以定制

       4D Technology成立于2002年，致力于為航空航天，天文學，光學制造，半導體和數據存儲領域開發高精度測試儀器。 岱美儀器為4D技術公司的合作伙伴。該公司獨有的動態相移測量技術改變了傳統光學干涉儀對使用環境的苛刻要求，并極大擴展了該儀器的應用范圍。 4D技術公司因其在這一領域的重大創新和杰出成就而贏得了許多榮譽，包括自2004年以來連續三年獲得R＆D100獎和NASA戈達德杰出貢獻獎。 4D技術公司在激光干涉儀，光學儀器，軟件開發，質量控制和技術支持方面擁有專業的團隊。 其高質量的產品和服務贏得了許多世界一留企業客戶的信任和認可。