發布時間:2020-05-27
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1. 客戶介紹
日前,岱美中國拿到采購SCHMIT粗糙度測量儀Schmitt TMS-2000WRC的訂單,該客戶是全球十達半導體晶圓供貨商之一。該客戶的產品主要應用于行動通信、網絡科技以及省電節能的電子消費產品,是國內**家提供相關硅晶圓的上游原材料公司。為了使硅片產生一定的電阻率,會采用氧化鋁、氧化硅對其表面進行微損傷處理,然后再進行表面清洗。Schmitt TMS-2000WRC是在上述工序完成后測試硅片表面的粗糙度的,保證工藝要求,并為后續工序提供高品質的原材料。
2. 應用
所有物體表面均有一定的粗糙度。當光線照射在物體表面時必然會發生反射及散射現象。Schmitt TMS-2000WRC即利用光的反射原理,采用670nm的激光以一定角度照射被測樣品表面,通過檢測反射光及散射光光強通過一定數學算法計算表面粗糙度。該設備測量范圍為0.2-10,000A。具有0.02A的超高分辨率。在粗糙度測量領域保持優越地位。