日前,岱美中國拿到了采購Filmetrics膜厚測量儀F60T的訂單。該客戶專注于為半導體、太陽能和LED顯示照明企業提供國際先進水平的刻蝕設備和薄膜設備,致力于提供**的設備和工藝技術解決方案。F60T主要用于檢測客戶生產設備的性能,包括檢測PEVCD的鍍膜厚度和檢測刻蝕機的刻蝕效果等。該客戶的設備主要用于集成電路的Fab廠商,例如中芯,華虹等。
F60T具有多點測試、自動檢測、檢測速度快、測量精準等優點,該款設備波長范圍為380-1050nm,可檢測膜層厚度范圍在20nm-70um之間,具備自動進行基準測量功能,樣品尺寸范圍為2寸至12寸,可根據實際應用選取掃描點數進行全圖掃描,也可根據實際需要作單線條厚度掃描,矩形掃描,或任意設定區域掃描,以49個點的掃面為例,僅需45秒鐘即可完成。
另外該系列產品有200nm-1700nm 不同波段的型號產品供客戶選擇,測試膜層厚度范圍自5nm至1mm.